采用低成本的化學還原方法制備了磁控濺射沉積在鋁摻雜氧化鋅（Al:ZnO, AZO）光電材料薄膜中的還原金納米粒子（Au-NPs）。

在不同的工藝參數下混合Au- nps，可以**地去除Au- nps上的有機物，形成Au的三維準晶體結構，從而改善光電材料AZO薄膜的光電性能。

采用不同濺射功率制備**的AZO種子層，通過調節燒結溫度和旋轉鍍膜轉速，提高Au-NPs對AZO薄膜光電性能的影響。

利用透射電子顯微鏡、掃描電子顯微鏡和x射線衍射儀分析了Au-NPs的結構和分布，

以及光電材料AZO薄膜的晶體特性。利用紫外-可見-近紅外分光光度計和霍爾效應測量系統對薄膜的光電性能進行了測量。

根據實驗結果，在150 W的濺射功率下沉積AZO種子層，在500℃下進行熱退火處理，在3000 rpm的轉速下將Au-NPs自旋涂覆在AZO薄膜的織構表面，

得到Au-NPs分布**的準網狀結構。這種結構使薄膜的電阻減小到3.57 × 10?3 Ω-cm，在可見光譜范圍內的**透光率為84.15％，其優值為3.99 × 10?4 Ω?1。

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