光電材料|β-FeSi2在脈沖激光沉積Si(100)襯底上的退火效應及紅外光電響應
光電材料β-FeSi2是光電子領(lǐng)域中一種重要的半導體硅化物。
本文采用脈沖激光沉積Fe薄膜的方法,在Si(100)襯底上制備了β-FeSi2合金層,然后在800℃的真空中進行熱退火。
退火溫度的調(diào)整對樣品的形貌、結(jié)構(gòu)和光學性能有明顯的影響。800°c退火后樣品表面光滑,光電材料β-FeSi2相結(jié)構(gòu)良好。
采用所制備的光電材料β-FeSi2合金層作為光電轉(zhuǎn)換層,在1319 nm波長下,紅外探測器的響應率為1.8 mA/W,探測率為1.44 × 107 cm?Hz1/2 W?1。
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