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鐵電材料--鉍層狀共生結(jié)構(gòu)鐵電薄膜(制備過程詳解)
發(fā)布時(shí)間:2020-07-10     作者:wyf   分享到:

鐵電材料--鉍層狀共生結(jié)構(gòu)鐵電薄膜(制備過程詳解)

齊岳生物從產(chǎn)品種類及技術(shù)特點(diǎn)方面可以提供**廣泛的鈣鈦礦產(chǎn)品,這些產(chǎn)品均產(chǎn)于西安齊岳齊岳生物實(shí)驗(yàn)室。

我們采用溶膠-凝膠法制備Bi4Ti;O12-BisTiNbO,( BIT-BTN)Bi4Ti;O12-SrBiTi4O1s

(BIT-SBTi)鉍層狀鈣鈦礦共生結(jié)構(gòu)鐵電薄膜,研究了制備工藝和結(jié)構(gòu)變化對(duì)薄膜結(jié)

構(gòu)和性能的影響,為高性能、低成本鐵電材料的制備提供一種**方法。

利用P-100 硅為襯底,采用旋涂法制備薄膜,整個(gè)溶膠凝膠法制備鐵電鉍層狀共生結(jié)構(gòu)薄膜的工藝過程如圖所示。

混合勻膠法制備薄膜

步驟一

根據(jù)實(shí)驗(yàn)配比需要,將BTN前驅(qū)液與BIT前驅(qū)液充分?jǐn)嚢?/span>2小時(shí),制備出BIT-BTN前驅(qū)液;用同樣的方式制備BIT-SBTi前驅(qū)液;

 

步驟二

設(shè)置好勻膠機(jī)參數(shù):轉(zhuǎn)速為4000R/min,啟動(dòng)時(shí)間為5s,甩膠時(shí)間為30s;

 

步驟三

打開真空泵,將襯底放置在勻膠機(jī)上,然后啟動(dòng)勻膠機(jī),將前驅(qū)液用滴管滴到正在旋轉(zhuǎn)的襯底上;

步驟四

將制備好的濕膜放置到120C的紅外干燥箱內(nèi)干燥5分鐘,使部分有機(jī)溶劑揮發(fā),防止在后續(xù)的熱處理過程中薄膜升溫速度過快導(dǎo)致龜裂;

步驟五

讓預(yù)熱過的薄膜放置在300C的恒溫?zé)岜P上進(jìn)行烘烤10min,使有機(jī)溶劑揮發(fā)和有機(jī)物燃燒,形成無定形態(tài)的薄膜,在烘烤過程中,為避免空氣中粉塵雜質(zhì)的影響,較好用蓋子蓋住硅片

步驟六

等薄膜自然冷卻后,重復(fù)上述過程,直到薄膜達(dá)到所需要的厚度;

 

步驟七

把所獲得的薄膜放置到管式爐中,從室溫以15C/min的升溫速率升至設(shè)定溫度,在氧氣氣氛(2L/min)中退火處理30min,即可獲得所需薄膜。

image.png 

混合勻膠法制備薄膜流程圖

交替法制備薄膜

該方法制備工藝參數(shù)與混合勻股法相同,只是沉積薄膜的方式有所不同,其具體過程如圖所示。

image.png 

交替勻膠法制備薄膜流程圖

研究結(jié)果:

采用溶膠-凝膠法能夠制備出表面平整、晶粒均勻的BIT-BTN BIT-SBTi共生結(jié)構(gòu)鐵電薄膜。在0.1mol/L佳前驅(qū)液濃度下制備出的薄膜表面均勻無裂痕,并且晶粒生長呈現(xiàn)隨機(jī)取向;佳的退火溫度為700°C,此時(shí)薄膜的鐵電性能較好。

研究表明,BIT-BTN 系列的共生結(jié)構(gòu)薄膜晶格畸變大,對(duì)薄膜剩余極化的提高大,其中BIT-BTN( 1:2)結(jié)構(gòu)薄膜在700C退火條件下2P,值可以達(dá)到44 μuC/cm2,將BIT薄膜2Pr16 uC/cm2提高了2.75倍,同時(shí)BIT-BTN薄膜具有更大的相對(duì)介電常數(shù)和C-V曲線回滯窗口,但是BIT-BTN薄膜的介電損耗較大,疲勞特性相對(duì)較差,在109 次極化反轉(zhuǎn)后剩余極化值下降明顯; BIT-SBTi 共生結(jié)構(gòu)薄膜雖然晶格畸變相對(duì)較小,但是其矯頑場更小,BIT-SBTi(1:1)薄膜的2Ec約為150 kV/cm,BIT薄膜約260 kV/cm2E。值減少了近42.3%,同時(shí)BIT-SBTi薄膜介電損耗小, 抗疲勞性能優(yōu)秀,在10"次極化反轉(zhuǎn)后依然保持較好的鐵電性能。

產(chǎn)品供應(yīng)列表:

鈦酸鉍基贗鈣鈦礦結(jié)構(gòu)薄膜

98%

西安齊岳

Bi系層狀鈣鈦礦薄膜

98%

西安齊岳

層狀鈣鈦礦Bi4Ti3O12(BTO)鐵電陶瓷材料

98%

西安齊岳

層狀、花形和棒狀鈦酸鉍納米材料

98%

西安齊岳

鈦酸鉍基鈣鈦礦復(fù)合氧化物

98%

西安齊岳

鉍系層狀鈣鈦礦結(jié)構(gòu)的光催化材料

98%

西安齊岳

層狀鈣鈦礦型結(jié)構(gòu)的Bi4Ti3O12x鐵電薄膜

98%

西安齊岳

鈦酸鉍(Bi4Ti3O12)基鐵電薄膜

98%

西安齊岳

鈦酸鉍(Bi4Ti3O12)陶瓷靶材材料

98%

西安齊岳

Pt/Ti/SiO2/Si襯底鈦酸鉍(Bi4Ti3O12)薄膜

98%

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高純Bi4Ti3O12鈦酸鉍納米粉體

98%

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鑭摻雜鈦酸鉍粉體

98%

西安齊岳

鈰(Ce)元素?fù)诫s鈦酸鉍(Bi4Ti3O12)材料

98%

西安齊岳

鈦酸鉍(Bi4Ti3O12)鐵電薄膜

98%

西安齊岳

摻雜Bi4Ti3O12鐵電陶瓷

98%

西安齊岳

丙烯酸-丙烯酸酯共聚物對(duì)鈦酸鉍

98%

西安齊岳

鈦酸鉍可控離子/納米球納米片納米帶

98%

西安齊岳

Pr3+摻雜鈦酸鉍與ZnO納米棒復(fù)合鐵電薄膜

98%

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稀土摻雜鈦酸鉍[Bi4-xLnxTi3O12(BLnT)]薄膜

98%

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鈦酸鉍(Bi4Ti3O12,BTO)鉍系層狀鈣鈦礦

98%

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硅基鈦酸鉍鐵電薄膜

98%

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鈦酸鉍鈮鐵電薄膜

98%

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球形鈦酸鉍復(fù)合氧化物光催化劑

98%

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硅基鈮摻雜Bi4Ti3O12薄膜溶膠

98%

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石英砂負(fù)載Bi4Ti3O12/SiO2光催化材料

98%

西安齊岳

鈦酸鉍**粉體

98%

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Ho摻雜Bi4Ti3O12鐵電薄膜

98%

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鉍層狀鈣鈦礦結(jié)構(gòu)的Bi4Ti3O12鐵電納米材料

98%

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鈦酸鉍鈦酸鉍稀有金屬鐿元素的(Bi,Yb)4Ti3O12鐵電薄膜

98%

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鈦酸鈣與鈦酸鉛及其摻雜物的光催化劑

98%

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鋯摻雜鈣鈦礦型復(fù)合材料

98%

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活性炭負(fù)載鈣鈦礦結(jié)構(gòu)的鈦酸鈣納米材料

98%

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(CaTiO3)鈦酸鈣/氧化鈣復(fù)合光催化劑

98%

西安齊岳

CaTiO_3基復(fù)合材料

98%

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高性能鈦酸鈣(CaTiO_3)晶體鈣鈦礦材料

98%

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鈦酸鈣改性鈣鈦礦型復(fù)合氧化物

98%

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鈦酸鈣基微粉

98%

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CaTiO_3:Pr~(3+)的發(fā)光與光催化復(fù)合材料

98%

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鈣鈦礦型鈦酸鈣鋇納米管

98%

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熔鹽合成鈦酸銅鈣粉體

98%

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鈣鈦礦結(jié)構(gòu)的鈦酸銅鈣(CCTO)陶瓷粉體

98%

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銀修飾鈣鈦礦LaBO3(B=Co,Ni)

98%

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納米顆粒修飾鈦基鈦酸鹽納米線生物支架材料

98%

西安齊岳

鈦酸鋇和鈦酸鈣陶瓷材料

98%

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鈦酸鈣為鈣鈦礦結(jié)構(gòu)的納米粉體

98%

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鈣鈦礦結(jié)構(gòu)的鋰摻雜及鋰與稀土元素共摻雜鈦酸鈣

98%

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無機(jī)雜化鈣鈦礦材料

98%

西安齊岳

鈮鎂酸鈣/鈦酸鈣多層異質(zhì)薄膜

98%

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鈦酸鈣光催化劑摻雜改性材料

98%

西安齊岳

三價(jià)釤離子摻雜鈦酸鈣發(fā)光材料

98%

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微米級(jí)片狀鈦酸鈣晶體

98%

西安齊岳

形狀和尺寸可控的鈦酸鈣顆粒

98%

西安齊岳

鈦礦基上轉(zhuǎn)換發(fā)光納米顆粒

98%

西安齊岳

純相鈦酸鎂納米晶及其復(fù)合材料

98%

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鈦酸鎂(MgTiO3)基微波介質(zhì)陶瓷

98%

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鈦酸鉍基鈣鈦礦相熱敏陶瓷復(fù)合材料

98%

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二氧化鈦(TiO2)的修飾對(duì)鈣鈦礦材料

98%

西安齊岳

鐵電體鈣鈦礦-TiO2和金屬硫化物-TiO2復(fù)合材料

98%

西安齊岳

二氧化鈦致密層與復(fù)合多孔層材料

98%

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三維ZnO/TiO2復(fù)合納米材料

98%

西安齊岳

染料/鈣鈦礦敏化多形貌納米TiO_2材料

98%

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TiO2/SnO2雙層復(fù)合薄膜

98%

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TiO2納米棒陣列的鈣鈦礦材料

98%

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二氧化鈦/鈣鈦礦新型復(fù)合納米材料

98%

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十二烷二酸修飾TiO2電子傳輸層改善鈣鈦礦

98%

西安齊岳

納米鈣鈦礦型復(fù)合氧化物

98%

西安齊岳

二氧化鈦(TiO2)鈣鈦礦電子傳輸材料

98%

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復(fù)合二氧化鈦膜厚

98%

西安齊岳

表面覆蓋TiO2層的納米銀顆粒(Ag-TiO2)

98%

西安齊岳

TiO_2NRAs/ZrO_2/C結(jié)構(gòu)鈣鈦礦材料

98%

西安齊岳

有機(jī)與有機(jī)—無機(jī)雜化鈣鈦礦材料

98%

西安齊岳

硅襯底的全無機(jī)鈣鈦礦量子點(diǎn)

98%

西安齊岳

硅襯底的介孔二氧化鈦復(fù)合物

98%

西安齊岳

N/Zr共摻雜TiO2納米柱陣列的鈣鈦礦材料

98%

西安齊岳

TiO2(c-TiO2)型平面異質(zhì)結(jié)鈣鈦礦材料

98%

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D-π-A小分子修飾鈣鈦礦材料

98%

西安齊岳

納米鈣鈦礦型TiO2包覆型磁性復(fù)合光催化劑

98%

西安齊岳

石墨烯/二氧化鈦材料

98%

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二氧化鈦(TiO2)嵌入式鈣鈦礦材料

98%

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TiO2-ZnTiO3納米復(fù)合薄膜

98%

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芐胺溴銅鈣鈦礦光吸收材料

98%

西安齊岳

甲胺鉛溴鈣鈦礦量子點(diǎn)

98%

西安齊岳

苯甲胺溴和苯乙胺溴鈣鈦礦薄膜

98%

西安齊岳

二氧化硅包覆的銫鉛溴鈣鈦礦納米晶復(fù)合物

98%

西安齊岳

鈣鈦礦型甲胺鉛碘薄膜

98%

西安齊岳

鉛基復(fù)合鈣鈦礦型材料

98%

西安齊岳

鉛系復(fù)合鈣鈦礦Pb(Fe1/2Ta1/2)O3鐵電陶瓷材料

98%

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甲胺溴化鉛鈣鈦礦納米晶(CH3NH3PbBr3PNCs)

98%

西安齊岳

鈣鈦礦發(fā)光二極管

98%

西安齊岳

金屬溴化物鈣鈦礦量子點(diǎn)

98%

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無機(jī)鈣鈦礦CsPbBr3微米棒

98%

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金屬鹵化物鈣鈦礦材料

98%

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全無機(jī)鈣鈦礦單晶

98%

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溫馨提示:西安齊岳生物供應(yīng)產(chǎn)品僅用于科研,不能用于人體.

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