超大規(guī)模集成電路制造過程中要反復(fù)用到的濺射(Sputtering)工藝屬于物理氣相沉積(PVD)技術(shù)的一種,是制備電子薄膜材料的主要技術(shù)之一,它利用離子源產(chǎn)生的離子,在高真空中經(jīng)過加速聚集,而形成高速度能的離子束流,轟擊固體表面,離子和固體表面原子發(fā)生動(dòng)能交換,使固體表面的原子離開固體并沉積在基底表面,被轟擊的固體是用濺射法沉積薄膜的原材料,稱為濺射靶材。
高純?yōu)R射靶材行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈
高純?yōu)R射靶材行業(yè)屬于電子材料領(lǐng)域,其產(chǎn)業(yè)鏈上下游關(guān)系如下:
高純金屬及濺射靶材是電子材料的重要組成部分,濺射靶材產(chǎn)業(yè)鏈主要包括金屬提純、靶材制造、濺射鍍膜和終端應(yīng)用等環(huán)節(jié),其中,靶材制造和濺射鍍膜環(huán)節(jié)是整個(gè)濺射靶材產(chǎn)業(yè)鏈中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
在藥物范圍內(nèi),濺射靶材產(chǎn)業(yè)鏈各環(huán)節(jié)參與企業(yè)數(shù)量基本呈金字塔型分布,高純?yōu)R射靶材制造環(huán)節(jié)技術(shù)門檻高、設(shè)備投資大,具有規(guī)模化生產(chǎn)能力的企業(yè)數(shù)量相對較少,主要分布在美國、日本等國家和地區(qū),其中,部分企業(yè)同時(shí)開展金屬提純業(yè)務(wù),將產(chǎn)業(yè)鏈延伸到上游領(lǐng)域;部分企業(yè)只擁有濺射靶材生產(chǎn)能力,高純度金屬需要上游企業(yè)供應(yīng)。
濺射靶材產(chǎn)業(yè)分布具有一定的區(qū)域性特征,美國、日本跨國集團(tuán)產(chǎn)業(yè)鏈完整,囊括金屬提純、靶材制造、濺射鍍膜和終端應(yīng)用各個(gè)環(huán)節(jié),具備規(guī)模化生產(chǎn)能力,在掌握**技術(shù)以后實(shí)施壟斷和封鎖,主導(dǎo)著技術(shù)革新和產(chǎn)業(yè)發(fā)展;韓國、新加坡及中國臺(tái)灣地區(qū)在磁記錄及光學(xué)薄膜領(lǐng)域有所特長。另外由于上述地區(qū)芯片及液晶面板產(chǎn)業(yè)發(fā)展較早,促使服務(wù)分工明確,可以為產(chǎn)業(yè)鏈下游的品牌企業(yè)提供如焊接、清洗、包裝等藥物代工服務(wù),將上游基礎(chǔ)材料和下游終端應(yīng)用對接,起到承上啟下的作用,并在一定程度上推動(dòng)上游濺射靶材的產(chǎn)品開發(fā)和市場擴(kuò)展。但是上述地區(qū)的靶材服務(wù)廠商缺少核心技術(shù)及裝備,不能夠在金屬的提純、組織的控制等核心技術(shù)領(lǐng)域形成競爭力濺射靶材的材料即靶坯依然依賴美國和日本的進(jìn)口。超高純金屬材料及濺射靶材在我國還屬于較新的行業(yè),以芯片制造廠商、液晶面板制造企業(yè)為代表的下游濺射鍍膜和終端用戶正在加大力度擴(kuò)展產(chǎn)能。從藥物來看,芯片及液晶面板行業(yè)制造向中國大陸轉(zhuǎn)移趨勢愈演愈烈,中國正在迎來這一領(lǐng)域的投資高峰。
2.釔元素(Y): 主要產(chǎn)品有工業(yè)純度金屬釔、高純度金屬釔、金屬釔靶材、釔鋯合金、釔鋁合金、釔鎂合金和其它釔合金、靶材等.
3.鑭元素(La): 主要產(chǎn)品有工業(yè)純度的金屬鑭、金屬鑭靶材、鑭鎳合金、鑭鈰合金、鑭鋁合金及其它鑭合金、靶材等.
4.鈰元素(Ce): 主要產(chǎn)品有工業(yè)純度的金屬鈰、金屬鈰靶、鈰-鋁合金、鑭-鈰合金及其它鈰合金、靶材等.
5.鐠元素(Pr): 主要產(chǎn)品有工業(yè)純度的金屬鐠、金屬鐠靶材、鐠-釹合金及其它鐠合金、靶材等.
8.釓元素(Gd): 主要產(chǎn)品有工業(yè)純度的金屬釓、高純度的金屬釓、金屬釓靶材、釓鐵鈷合金、釓鈦鋯合金、釓鈦合金及其它釓合金、靶材等.鋱?jiān)亍?/span>
包裝及保存說明
1.出庫包裝:內(nèi)部真空袋真空包裝,外部為定制產(chǎn)品靶材盒,紙箱快遞運(yùn)輸
2.儲(chǔ)存方法:收到產(chǎn)品后,需儲(chǔ)存于干燥環(huán)境,密封包裝,輕拿輕放,防壓防撞
3.使用注意:使用前觀察靶材表面是否清潔,帶上干凈的手套操作, 避免直接用手接觸物料,勿被油污等異物污染
溫馨提示:西安齊岳生物提供各種靶材形狀:板材,圓片,矩形,方形,圓環(huán),圓棒,臺(tái)階圓片,臺(tái)階矩形,三角形,管狀靶,套靶等或按客戶要求訂做,可根據(jù)客戶提供的圖紙要求加工. 并可以為客戶提供部分靶材的定制服務(wù).
西安齊岳生物提供的所有產(chǎn)品僅用于科研,axc.2021.01.21